低溫等離子凈化器在廢氣處理工程中的應用較為廣泛，其主要工藝流程主要由以上六大部分組成，氣體收集系統—預處理噴淋洗滌系統—低溫等離子凈化系統—深度氣體吸附催化系統—排放系統—控制系統氣體收集系統主要是將構筑物自由揮發的氣體收集起來并輸送到后續處理系統。具體包括氣罩系統、管道輸送系統和風機。
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