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    三次元測量儀測量按誤差的幾何量分類有形狀誤差、實際要素的位置誤差和被測工件的尺寸誤差。它們各自有不同的特點，產生的原因和影響也不相同，而誤差補償和消除也就不同，尺寸誤差可通過調整刀具與工件的距離來補償；在橢圓曲線的加工中形狀誤差可以通過靠模或軟件來補償修正。
    二次元的位置誤差則需通過調整零件的安裝位置和方法來補償，誤差補償關鍵在于要把測量中眾多的綜合誤差按類分離出來。在圓度誤差的測量過程中，存在被測件的圓度誤差，同時也存在轉臺式圓度測量儀的回轉誤差。

    分離技術是將被測件和測試儀器誤差分離開，從而獲得精確的測量結果。分離技術的電算法是現代化儀器一般都配有計算機，可采用相應的軟件將測量儀器的系統誤差分離出來 實用分離技術是指在實際操作過程中通過某種手段消除儀器的系統誤差。

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