安川變頻器常見的故障主要有驅動電路的損壞，以及IGBT模塊的損壞，驅動電路是由一對對管去驅動IGBT模塊的，而這對管也是最容易損壞的元器件，損壞原因常由于IGBT模塊的損壞，而導致高壓大電流竄入驅動回路，導致驅動電路的元器件損壞。
安川變頻器，經常會碰到的故障現象有F008(直流電壓低)，由于是直接通過電阻降壓來取得采樣信號，所以故障F008的出現主要是由于采樣電阻的損壞而導致的。
安川變頻器F025,F026,F027,關于輸入相缺失的報警，故障原因一是由于6SE70系列本身帶有輸入相檢測功能，輸入檢測電路的損壞會導致輸入缺相報警，如排除此故障原因，報警信號還不能消除，那故障很有可能就是CU板的損壞了。